有源芯片

 仕佳光子新增特色服务—测试与可靠性业务为了方便阅读,给您做了目录指引:

【01】工艺监控

【02】性能评估

【03】可靠性测试

01

工艺监控

                                     

                                              样

                                             2~6wafer  

                                             最5mm*5mm

                                             测

                                             光

                                             测: 

                                             532nm980nm

                                    波600~1700nm

 

                                X线

                                   

                                   2~6wafer

                                   最10mm*10mm

                                   测

                                   摇线ω/2θ

                                   测:

                                   三3.6"

 

                                  

                           

样品类型:

最小尺寸10mm*10mm

测试项目:

电阻率、载流子浓度、迁移率

测试特点:

常温测试、77K测试(液氮温度)

载流子浓度:10^7~10^21cm^-3

迁移率:1~10^7cm^2/V/S

                         C-V

                                 样品类型:

                                 最小尺寸12mm*12mm

                                 测试项目:

                                 载流子浓度

                                 测试特点:

                                 载流子浓度1^13~1^20cm^-3,

                                 腐蚀深度50nm~20μm

                          原子力显微镜-AFM

                              样品尺寸:

                              直径≤150mm

                              测试项目:

                              表面粗糙度、台阶测量

                              测试特点:

                              最大台阶测量高度≤10μm;

                              台阶测量高度误差±1nm

                        扫描电子显微镜-SEM

                             样品尺寸:

                             直径≤50mm

                             测试项目:

                             表面结构和组分对比

                             测试特点:

                             最大分辨率 1.0nm;

                             放大倍数10x~1,000,000x

                       椭偏仪

                           样品尺寸:

                           直径≤200mm

                  测试项目:

         薄膜厚度、折射率

测试特点:

波长范围300nm~1800nm;

厚度误差±2nm;

折射率误差±0.001

       

台阶仪

样品尺寸:

直径≤150mm

测试项目:

台阶测量

测试特点:

最大台阶高度≤327μm;

精度±4nm

分光光度计

样品尺寸:

最小尺寸12mm*18mm;

最大尺寸100mm*80mm;

测试项目:

薄膜透射率和反射率

测试特点:

波长范围400nm~3000nm;

精度误差0.2%

                                                                                    02

性能评估

                                                                   

                                                                                       

        样品封装类型-介绍

        为方便芯片测试,需要将芯片封装为不同的类型:

                        ▷我司可提供所有的封装代工服务。

 

非零延时自外差线宽测试

样品类型:

TOSA、蝶形

测试项目:

利用非零延时自外差法测量激光器线宽

测试特点:

用声光移频器移频

频谱仪可测频率范围10Hz-44GHz

最佳激光器线宽测试能力<10KHz

可测激光器波长范围:1540~1560nm

 洛伦兹线宽测试

样品类型:

TOSA、蝶形

测试项目:

以功率谱密度形式测量光频率噪声

提取白噪声、分析洛伦兹线宽

测试特点:

光频率噪声可测到20MHz

可测激光器波长范围:

1260~1360nm、1520~1625nm

RIN测试

样品类型:

COC、TOSA、蝶形

测试项目:

测试RIN值

测试张弛振荡频率

测试特点:

可测激光器波长范围:1265nm-1625nm

可测频率范围:100MHz-26.5GHz

输入功率高达7dB,改善测量信噪比

RIN测量值可低至-167dB/Hz

频率稳定性测试

样品类型:

TOSA、蝶形

测试项目:

测量信号的频率相位抖动等

测试特点:

具有59GHz实时带宽

采样率160GSa/s(2通道),采样率80GSa/s(4通道)

高达2Gpts的深存储器捕获更多数据

                          常规LIV测试

             

样品类型:  

COC、TO、TOSA、蝶形

测试项目:

用来测试大功率半导体激光器的光电性能参数和LIV性能曲线,可计算阈值电流Ith、指定电流Io下的发光功率Pf、正向电压Vf等参数

测试特点:

最大输出电流:脉冲模式30A,连续模式3A

脉宽最小可设到1μs

占空比最大1%

PD响应波长范围 800~1700nm

       光谱测试

样品类型:

COC、TO、TOSA、蝶形

测试项目:

测量连续和脉冲电流模式下激光器的光谱,可计算中心波长、边模抑制比、谱宽等参数

测试特点:

可测激光器波长范围:600-1700nm

分辨率最小可设到0.02nm

S参数测试

样品类型:

COC、蝶形

测试项目:

可测试3dB带宽、相位、反射系数、电压驻波比、群时延

测试特点:

10MHz-67GHz测试范围,可测试激光器、调制器、探测器以及无源产品

1dB压缩点测试

样品类型:

COC、蝶形

测试项目:

可测试产品射频功率输入输出线性度

测试特点:

微波源频率可达44GHz

频谱仪频率10MHz-44GHz

二次谐波抑制比测试

 

样品类型:

COC、蝶形

测试项目:

测试产品的谐波产物,评估产品的非线性及失真指标

测试特点:

微波源频率可达44GHz

频谱仪频率10MHz-44GHz

三阶交调测试

样品类型:

COC、蝶形

测试项目:

测试三阶交调产物,衡量产品线性度

测试特点:

微波源频率可达44GHz

频谱仪频率10MHz-44GHz

       链路噪声系数测试

样品类型:

7PIN蝶形、BOX

测试项目:

测量大功率激光器或者常规激光器链路噪声系数

测试特点:

可测频率范围最高可达26.5GHz

灵敏度测试

 

样品类型:

ROSA 、BOX

测试项目:

灵敏度测试

测试特点:

频率范围2.5-32GHz

                                                                                                                                                   

                                                                                             03

可靠性测试

腔体式TO试验箱

样品类型:

TO

测试项目:

TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验

测试特点:

上下箱体温度分别设定;互不干扰;

温度范围:RT+25~150℃;

各个老化板电流分别控制,电流范围0~200mA;

定时记录各通道背光电流值。

抽屉式TO试验箱

样品类型:

TO

测试项目:

TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验

测试特点:

具有ACC和APC模式;

各盒内温度分别设定,互不干扰;

温度范围:RT+25~150℃;

各老化盒电流分别控制,电流范围0~300mA;

定时记录各通道背光电流值。

抽屉式COC试验箱

样品类型:

COC

测试项目:

COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验

测试特点:

具有ACC和APC模式;

各盒内温度分别设定;互不干扰;

温度范围:RT+25~150℃;

各老化盒电流分别控制,电流范围0~500mA;

定时记录各通道前光功率值。

抽屉式COC试验箱

样品类型:

COC

测试项目:

COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验

测试特点:

兼容直流输出和脉冲输出模式;

各盒内温度分别设定,温度范围:RT+ 25~120℃;

CW:0~2A;

QCW:0~3A,脉宽1us~20us,占空0.01%~10%;

定时记录各通道前光功率值。

高温高湿加电试验箱

样品类型:

TO

测试项目:

TO封装的激光器湿热环境带电老化试验

测试特点:

箱体温度设定范围:-40℃~150℃;

箱体湿度设定范围:0%~98%RH

各个老化板电流分别控制,电流范围0~200mA;

定时记录各通道背光电流值。

抽屉式TO试验箱

样品类型:

TO

测试项目:

TO封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验。

测试特点:

具有ACC和APC模式;

各抽屉温度分别设定,温度范围:RT+45~120℃;

各老化抽屉电流分别控制,电流范围0~1A;

定时记录各通道背光电流值

抽屉式COC试验箱

样品类型:

COC

测试项目:

COC封装的激光器进行Burn-in和加速老化试验。

测试特点:

各抽屉温度分别设定,温度范围:RT+45~120℃;

各老化抽屉电流分别控制,电流范围0~6A;

定时记录各通道前光功率值。

高压加速老化试验机

样品类型:

适用于多种产品类型

测试项目:

用于产品研发设计阶段工艺快速验证

测试特点:

温度:+100 ℃~+132 ℃(饱和蒸气温度);

压力:0.120~0.289Mpa;

湿度:100%RH,不可调。

HAST高压加速老化试验机

样品类型:

适用于多种产品类型

测试项目:

用于产品研发设计阶段工艺快速验证

测试特点:

温度:+100 ℃~+147℃;

压力:0.120~0.289Mpa;

湿度:70-100%RH,可调。

可程式恒温恒湿箱

样品类型:

适用于多种产品类型

测试项目:

用于产品常规可靠性试验,验证产品在高低温交变环境下性能

测试特点:

温度:-70 ℃~+150℃;

湿度:20-98%RH;

电热鼓风干燥箱

样品类型:

适用于多种产品类型

测试项目:

用于产品常规可靠性试验,验证产品在高温环境下性能

测试特点:

温度:室温+10 ℃~+200℃。

静电放电发生器

样品类型:

Chip、TO

测试项目:

半导体激光器、器件进行静电抗扰度测试

测试特点:

放电模式:HBM人体静电放电模型;

放电网络:1500Ω/100pF;

最大静电电压:±8.000kV。

LC310液相色谱仪

样品类型:

物料邻苯四项的含量

测试项目:

用于物料Rohs2.0检测

测试特点:

可用于检测物料中邻苯二甲酸二异丁酯(DIBP)、邻苯二甲酸(2-乙基己基酯)(DEHP)、邻苯二甲酸二丁酯(DBP)邻苯二甲酸丁苄酯(BBP)含量。